碳碳坩堝
產(chǎn)品尺寸:32-42寸
生產(chǎn)工藝:化學(xué)氣相沉積+液相浸漬(可選)
主要性能:密度≥1.45g/cm³,抗折強(qiáng)度≥120Mpa
產(chǎn)品用途:用于單晶硅爐熱場,支撐石英坩堝
碳碳導(dǎo)流筒
產(chǎn)品尺寸:32-42寸
生產(chǎn)工藝:化學(xué)氣相沉積+液相浸漬(可選)
主要性能:密度≥1.35g/cm³,抗折強(qiáng)度≥100Mpa
產(chǎn)品用途:用于單晶硅爐熱場,作為氣流場、熱流場的引流部件
碳碳上保溫筒
產(chǎn)品尺寸:32-42寸
生產(chǎn)工藝:化學(xué)氣相沉積
主要性能:密度≥1.3g/cm³,抗折強(qiáng)度≥100Mpa
產(chǎn)品用途:用于單晶硅爐熱場,作為保溫材料
碳碳支撐環(huán)
產(chǎn)品尺寸:32-42寸
生產(chǎn)工藝:化學(xué)氣相沉積+液相浸漬
主要性能:密度≥1.3g/cm³,抗折強(qiáng)度≥100Mpa
產(chǎn)品用途:用于單晶硅爐熱場,作為保溫筒/導(dǎo)流筒的連接結(jié)構(gòu)
碳碳堝托
產(chǎn)品尺寸:32-42寸
生產(chǎn)工藝:化學(xué)氣相沉積+液相浸漬
主要性能:密度≥1.3g/cm³,抗折強(qiáng)度≥100Mpa
產(chǎn)品用途:用于單晶硅爐熱場,配合碳碳坩堝支撐石英坩堝
碳碳托桿
生產(chǎn)工藝:化學(xué)氣相沉積+液相浸漬
主要性能:密度≥1.3g/cm³,抗折強(qiáng)度≥100Mpa
產(chǎn)品用途:用于單晶硅爐熱場,作為碳碳堝旋頂支撐
碳碳主加熱器
產(chǎn)品尺寸:32-42寸
生產(chǎn)工藝:化學(xué)氣相沉積+液相浸漬
主要性能:密度≥1.7g/cm³,抗折強(qiáng)度≥150Mpa
產(chǎn)品用途:用于單晶硅爐熱場,通電后發(fā)熱,作為主加熱元件
石英坩堝
產(chǎn)品尺寸:33-42寸
生產(chǎn)工藝:電弧法熔制
主要性能:高純度、耐溫性強(qiáng)、化學(xué)穩(wěn)定性好、保溫性好。在1400℃±5℃下保溫600小時,其析晶層的平均厚度<1mm
產(chǎn)品用途:拉制大直徑單晶硅棒的消耗性器皿,用于盛裝熔融硅
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